吹扫瓶Precursor Purge Bottle（也常叫 Bubbler Purge、惰性气体吹扫瓶、载气鼓泡瓶）一般用在 CVD / ALD / 半导体外延、气相沉积设备里，配合液体前驱体、易挥发固体前驱体源瓶 使用，核心作用是：用惰性气体把管路里残留的前驱体蒸汽吹扫干净，防止冷凝、堵塞、交叉污染。
一、工作原理
载气预饱和 / 干燥吹扫气（N₂/Ar/He）先经过吹扫瓶，可带少量溶剂蒸汽，避免前驱体被过度稀释或冷凝。
管路吹扫、防前驱体残留脉冲结束后，吹扫气经过此瓶再进入管路 / 腔体，稳定气流，减少死体积残留。
缓冲稳压避免气路压力突变，保护 MFC、阀门和腔体工艺稳定性。
观察气泡，判断气路通断透明材质可直接看气泡，快速判断是否通气、流量是否正常。
二、产品结构
主体瓶身：PFA / PTFE（高纯、耐 HF、耐卤化物前驱体）
进气插管：长管插到瓶底，鼓泡
出气管：短管，在上部出气
瓶盖 / 接头：PFA/PTFE 螺纹，配氟胶 / 全氟密封圈
可选：带刻度、带加热夹套、带旁路
三、PFA吹扫瓶产品优势
耐 HF、卤化物、金属有机前驱体
超低金属析出，符合半导体 / 光伏的高纯要求
半透明，能直接看气泡
耐高温，可加热伴热，防止前驱体冷凝
不吸附、不沾液，易清洗再生
前驱体吹扫瓶：一般装惰性溶剂、空白液，或干脆空瓶仅作缓冲 / 鼓泡观察专门给吹扫气路使用，不参与反应成膜
四、常见规格（实验室 / 小量产常用）
100 mL / 250 mL / 500 mL / 1 L
接口：1/4" PFA 接头、卡套、 flare 接头
配套：PFA 管路、PFA 阀门、MFC 质量流量计
五、适用工艺
ALD / CVD 氟基前驱体吹扫
半导体高纯氧化层、氮化物沉积
HF、含氟前驱体气路保护与吹扫
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