半导体用吹扫瓶PFA15ml30ml60ml气体反应罐1/4冲击瓶撞击滤尘器

吹扫瓶Precursor Purge Bottle（也常叫 Bubbler Purge、惰性气体吹扫瓶、载气鼓泡瓶）一般用在 CVD / ALD / 半导体外延、气相沉积设备里，配合液体前驱体、易挥发固体前驱体源瓶 使用，核心作用是：用惰性气体把管路里残留的前驱体蒸汽吹扫干净，防止冷凝、堵塞、交叉污染。

一、工作原理

载气预饱和 / 干燥吹扫气（N₂/Ar/He）先经过吹扫瓶，可带少量溶剂蒸汽，避免前驱体被过度稀释或冷凝。

管路吹扫、防前驱体残留脉冲结束后，吹扫气经过此瓶再进入管路 / 腔体，稳定气流，减少死体积残留。

缓冲稳压避免气路压力突变，保护 MFC、阀门和腔体工艺稳定性。

观察气泡，判断气路通断透明材质可直接看气泡，快速判断是否通气、流量是否正常。

二、产品结构

主体瓶身：PFA / PTFE（高纯、耐 HF、耐卤化物前驱体）

进气插管：长管插到瓶底，鼓泡

出气管：短管，在上部出气

瓶盖 / 接头：PFA/PTFE 螺纹，配氟胶 / 全氟密封圈

可选：带刻度、带加热夹套、带旁路

因为你前面一直在问 PFA 酸缸、HF 冷凝、氟化氢装置，所以你要的前驱体吹扫瓶，基本都是 PFA 材质。

三、PFA吹扫瓶产品优势

耐 HF、卤化物、金属有机前驱体

超低金属析出，符合半导体 / 光伏的高纯要求

半透明，能直接看气泡

耐高温，可加热伴热，防止前驱体冷凝

不吸附、不沾液，易清洗再生

前驱体吹扫瓶：一般装惰性溶剂、空白液，或干脆空瓶仅作缓冲 / 鼓泡观察专门给吹扫气路使用，不参与反应成膜

四、常见规格（实验室 / 小量产常用）

100 mL / 250 mL / 500 mL / 1 L

接口：1/4" PFA 接头、卡套、 flare 接头

配套：PFA 管路、PFA 阀门、MFC 质量流量计

五、适用工艺

ALD / CVD 氟基前驱体吹扫

半导体高纯氧化层、氮化物沉积

HF、含氟前驱体气路保护与吹扫