半导体蚀刻陶瓷环

PTC 半导刻陶瓷环半导体晶圆表面蚀刻技术是利用电浆（等离子）对晶圆表面进行浸食，此时会产生微粒子，金属污染，氧元素分解等诸多问题。我司提供的蚀刻备件得到全世界众多知名大厂的认可并一直使用。 以下为我司要以提供的产品及对应设备列表。也可以根据客户图纸要求或是客户的具体要求来对产品进行修改。NO. Maker  Wafer Size  OEM No.  Part Name  Material1 AMAT  200 0200­00261  CHAMBER INSERT 200MM  Al2O32 AMAT  200 0200­00468  IMP FEEDTHRU INSULATOR  Al2O33 AMAT  200 0200­00624  NCRS PURGE RING, WXZ+  Al2O34 AMAT  200 0200­00632  RING SHADOW(3MM)NCRS  Al2O35 AMAT  200 0200­00945  CAPTURE RING  Al2O36 AMAT  200 0200­01009  Modified Top Nozzle  AlN7 AMAT  200 0200­09083  QUARTZ SHIELD  Quartz8 AMAT  200 0200­10284  LIFT PIN BK  Al2O39 AMAT  200 0200­10377  SINGLE RING  Al2O310 AMAT  200 0200­18081  COVER LOW PROFILE  Al2O311 AMAT  200 0200­18095  COLLAR MINCONTACT_TELTEC  Al2O312 AMAT  200 0200­18109  Ceramic Collar_HHNEC  Al2O313 AMAT  200 0200­20055  INSULATOR ANTENAE PCII TI PED  Quartz14 AMAT  200 0200­20285  PEDESTAL COVER UPPER 8"  Al2O315 AMAT  200 0200­20331  IMP Cover Ring  Al2O316 AMAT  200 0200­35287  Ceramic Base Al2O317 AMAT  200 0200­35290  HOUSING GAS FEED BKCeramic Base Al2O318 AMAT  200 0200­35291  PLUG GAS NOZZLE BK  Al2O319 AMAT  200 0200­35293  WINDOW MANOMETER PORT BK  Al2O320 AMAT  200 0200­35295  HOUSING GAS FEED DPS A3 CH BK  Al2O321 AMAT  200 0200­35296  GAS PLUG BK  Al2O322 AMAT  200 0200­35576  HP TXZ LID ISOLATOR_Polishing Repair  Al2O323 AMAT  200 0200­35611  LID LINER SCREW(CERAMIC) BK  Al2O324 AMAT  200 0200­36659  SHADOW RING (Q'tz)  Quartz25 AMAT  200 0200­36686  Ceramic Single Ring  Al2O326 AMAT  200 0200­39133  WINDOW END POINT PORT  Al2O327 AMAT  200 0200­39135  WINDOW MANOMETER PORT  Al2O328 AMAT  200 0200­39137  DPS Poly Dome  Al2O329 AMAT  200 0200­39144  RING FOCUS 195MM SNNF 1.38  Al2O330 AMAT  200 0200­40126  THIN BLADE(CERAMIC)  Al2O331 AMAT  200 0200­50132  Capture Ring  Al2O332 LAM  200 716­330045­001  RING EDGE 9408 ESC 202_HC  Al2O333 LAM  200 716­330045­002  (L)EDGE RING(PTX)￠202 Al2O334 LAM  200 716­330120­001  CERAMIC WINDOW FLAT Al2O335 LAM  200 716­330890­001  Uniformity Ring  Al2O336 LAM  200 716­330892­007  ALLIANCE 9600 GDP  Al2O337 LAM  200 716­331051­006  UNIFORMITY RING  Al2O338 Novellus  200 15­109921­00  C­PEC_200mm  AlN39 Novellus  200 15­158185­00  NANO CLEAN CE TUBE  Al2O340 TEL  200 1810­329022­11  Adapter Liner (Y2O3 Coating)  Metal41 TEL  200 1D10­304010­12  RING SHIELD B3  Al2O342 AMAT  300 0010­28101  PRODUCER LIFT PIN HOOP  Al2O343 AMAT  300 0020­05896  Ring Deposition Clean CIP2  Al2O344 AMAT  300 0021­43884  DPSII POLY AL LIFT PIN  Y2O345 AMAT  300 0030­52157  Clamp Lower Center Gas Feed  Al2O346 AMAT  300 0200­00576  Pin Weight  Al2O347 AMAT  300 0200­00933  SCREW COVER (DPS2)  Al2O348 AMAT  300 0200­00970  Ceramic Lid  Al2O349 AMAT  300 0200­01326  INSULATOR SOURCE ADAPTOR Ceramic  Al2O350 AMAT  300 0200­01427  ISOLATOR CERAMIC CVD  Al2O351 AMAT  300 0200­01461  Gas Nozzle  Al2O352 AMAT  300 0200­01521