晶体退火炉

一、晶体退火炉产品描述

晶体退火炉，是我公司新推出的一款用于晶棒、晶片新式退火炉。 该炉选用进口1900型硅钼棒作为发热体和本公司专利的氧化锆内衬炉膛。可在1700℃下接连运用，最高温度达1800℃。侧开式炉门，易于样品装载，并可加装通气口，可在氧气或慵懒气氛下操作壳体结构，炉膛内部温度安稳度达±1℃，最高温度为1800℃。选用双层壳体结构和51段程序控温体系，移相触发、可控硅操控，双层炉壳间配有风冷体系，能快速升降温，选用外壳全体密封、盖板密封选用硅胶泥、炉门选用硅胶垫并通有水冷体系，气体通过流量计后由后膛进出，有多处洗炉膛进气口、出气口处有焚烧嘴，能够通氢气、氩气、氮气、氧气、一氧化碳、*分解气等气体，该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等长处，是晶体材料退硬度用的抱负产品。

二、SLQ1800系列气氛电阻炉规格类型
 

补白：可选配体系：1、主动泄压进气体系，2、混气供气体系 3、真空机组  4、USB接口，无纸记录仪，随机打印体系、5、坩埚   6、进口1900型材料。

补白：我公司可定制各种非标炉，不同炉膛尺度、不同温度范围内的真空热压炉，真空熔炼炉，真空烧结炉，真空碳管炉，箱式炉，气氛炉，管式炉等。